GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准被 GB/T 15909-2009电子工业用气体 硅烷(SiH) 代替