本文件规定了支持洁净室和洁净区运行的检测方法,以满足空气洁净等级、其他洁净属性和相关控制条件。
性能检测针对的是空态,静态和动态3种任一占用状态下的单向流和非单向流型式的洁净室和洁净区。
本文件推荐了测定性能参数用的检测仪器和检测程序。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。
为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若供需双方协商同意,也可以使用本文件未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。
本文件不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。