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标准名称 发布日期 实施日期 收藏

GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 2011-01-14 2011-05-01

GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境第4部分：设计、建造、启动 2011-01-14 2011-06-01

GB/T 25915.7-2010 洁净室及相关受控环境第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境） 2011-01-14 2011-06-01

GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境第5部分：运行 2011-01-14 2011-05-01

GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境第6部分：词汇 2011-01-14 2011-05-01

GB/T 25915.16-2024 洁净室及相关受控环境第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效 2024-03-15 2024-10-01

GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 2022-12-30 2023-07-01

GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 2022-12-30 2023-07-01

GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用 2024-08-23 2025-03-01

GB/T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 2024-03-15 2024-10-01

GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境第14部分：按粒子浓度评估设备适用性 2022-12-30 2023-07-01

GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 2021-10-11 2022-05-01

GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 2011-01-14 2011-05-01

GB/T 25915.2-2010 洁净室及相关受控环境第2部分：证明持续符合GB/T 25915.1的检测与监测技术条件 2011-01-14 2011-06-01

GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染分级 2011-01-14 2011-06-01

GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 2021-08-20 2022-03-01

GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级 2021-08-20 2022-03-01

GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 2021-08-20 2022-03-01

GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 2021-08-20 2022-03-01

GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级 2018-06-07 2018-10-01

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